changkongceyi 發表于 2012-9-25 09:13
靶材的雜質元素不好控制....
changkongceyi 發表于 2012-9-25 09:13
靶材的雜質元素不好控制....
jayrain 發表于 2012-9-25 20:52
這個 有所聽說，象雜質元素，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不
changkongceyi 發表于 2012-9-26 08:19
肯定會有影響，靶材氣孔內氣體參與濺射，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的 ...
changkongceyi 發表于 2012-9-26 16:03; h9 w5 A& T* S5 v5 H
不敢當，我接觸磁控濺射沒多久，靶材說白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬），純度其實就是冶 ...
jayrain 發表于 2012-9-27 08:55
嗯，謝謝了。得看看。沒搞過材料，感覺水還蠻深納。
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