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樓主 |
發(fā)表于 2021-8-25 10:08:44
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X&Y:/ p7 C: M+ D' ~+ v% s" ~* j
行程:100*100左右
; N6 r; `5 d7 ^( P最小步進(jìn)距離:1μm, ` T' s6 A, p A5 w+ c
重復(fù)定位精度:<10μm+ t' ^ f! B7 V) J# I$ e
直線度:<10μm2 q' X% `0 _% Z
最大速度:>150mm/s" O0 H4 j1 f" M# \+ N, a
最大加速度:>2g
% R. n. V( O Z* ~" tZ:) n; A6 H) n6 k, G; V8 G6 W" i
行程:50mm左右: [! |, }9 Y3 `. _ R
最小步進(jìn)距離:1μm
, L, x' Y, P b重復(fù)定位精度:<10μm
; m6 ]/ a% e2 Q8 G直線度:<1μm
7 ?6 f4 x; s, i& C! O. U) V最大速度:無(wú)要求
" {* i' W7 G8 l% G, d' h6 I% N最大加速度:無(wú)要求% d" E% T5 R" X h( F
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