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為什么最頂尖的光刻機(jī)是來自荷蘭，而不是美國？
20世紀(jì)60-70年代，光刻機(jī)的早期發(fā)展階段，美國是走在世界前面的。那時(shí)的光刻機(jī)原理很簡單，就是把光通過帶電路圖的掩膜投影到涂有光敏膠的晶圓上，那時(shí)的晶圓也只有1英寸大小。
80年代左右，由于美國的扶持，一些裝配產(chǎn)業(yè)向日本轉(zhuǎn)移，日本也抓住了機(jī)遇，在半導(dǎo)體領(lǐng)域趁勢崛起。90年代，日本的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成為了全球第一，出口額超過美國。
1984年，荷蘭光刻機(jī)廠商ASML成立，此時(shí)的阿斯麥只是飛利浦和一家小公司ASM International以50:50的比例組成的合資公司，最初員工只有31人。在成立初期，ASML沒錢沒客戶，甚至只能在簡易木板房工作。
1997年，英特爾和美國能源部牽頭組建EUV LLC前沿技術(shù)組織，集成了通訊巨頭摩托羅拉、IBM、芯片巨頭AMD，以及能源部下屬三大國家實(shí)驗(yàn)室：勞倫斯-利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室、桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室和勞倫斯伯克利實(shí)驗(yàn)室。
此時(shí)的美國政府將EUV技術(shù)視為推動本國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)，并不太希望外國企業(yè)參與其中，但是此時(shí)美國本土光刻機(jī)企業(yè)已是“扶不起的阿斗”。
最后，ASML同意在美國建立一所工廠和一個(gè)研發(fā)中心，以滿足所有美國本土的產(chǎn)能需求，保證55%的零部件均從美國供應(yīng)商處采購，并接受定期審查，才被納入美國EUV LLC聯(lián)盟。
這也就是為什么說“ASML一半是歐洲的，一半是美國的?！?/font>ASML被允許加入EUV LLC之后便順風(fēng)順?biāo)伙w沖天，而尼康和佳能卻被排除在外，從而失去了未來的門票。
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發(fā)表于 2022-3-5 10:30:42
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