納米位移臺研發

wrn · 發表于 2022-12-15 15:13:07

棲格瑪發表于 2022-3-19 21:31
5 Y: q7 j" |: H% |( E2 n結構和你的類似，只是細節不一樣搜索日本駿河可以看到

這個日本駿河也是MISUMI旗下的？

老菜鳥168 · 發表于 2022-12-15 21:51:07

之前搞過亞微米，幾百納米那種，壓電陶瓷+氣浮平臺，樓主這個看來要更難一點。

xfxywzy · 發表于 2023-3-2 15:17:12

我最近也在找類似的產品，應用場景跟你類似，50nm的分辨率，但我們希望能做到1nm的分辨率。目前市面上可以參考PI這家廠商的產品，我們選了一款分辨率0.1nm,行程15um的壓電軸，同時現在直線電機現在也可以做到1nm的步進，我也是在學習和了解中，馬上準備拿樣品來測試。

xfxywzy · 發表于 2023-3-8 18:04:26

xfxywzy 發表于 2023-3-2 15:17) D" O0 p# C5 p7 j5 {
我最近也在找類似的產品，應用場景跟你類似，50nm的分辨率，但我們希望能做到1nm的分辨率。目前市面上可以 ...

位移臺的精度，目前我知道有可以做到1nm步進的行程100mm. 目前我們剛拿到一個樣品在研究，品牌PI的。一套大概10W RMB。

xzx7869520 · 發表于 2023-11-2 19:59:09

這類我們都用壓電臺子了，光學檢測行業

清風烈月 · 發表于 2024-12-11 17:13:35

磁驅平面電機

112233ww · 發表于 2025-1-22 14:54:51

納米位移臺20年前我們所就做過，對使用環境要求很高，傳動用的是摩擦傳動，全部是氣體靜壓的。常規環境下不能實現納米精度。

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