超精密機械設備設計與開發

火 [復制鏈接]

養豬東籬下

11^#

發表于 2023-3-1 14:38:22 | 只看該作者

文不對題

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帕肉賽斯

12^#

發表于 2023-3-1 16:52:08 | 只看該作者

怒砍一分

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skyll

13^#

發表于 2023-3-2 11:21:42 | 只看該作者

怒刷一分

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喂我袋鹽

14^#

發表于 2023-3-2 21:36:44 | 只看該作者

lz來點干貨，怎樣的超精密

回復問題專業，描述清楚伸手黨/灌水/看不懂

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寒寒thunder

15^#

發表于 2023-3-3 11:01:31 | 只看該作者

怒刷一貼？？？

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xfxywzy

16^#

樓主| 發表于 2023-3-9 10:11:28 | 只看該作者

目前的精密單方向平臺，已經可以做到納米等級的進給（1nm，100mm行程）。可能只有很少的行業會用到，價格也比較昂貴（10W RMB）。其中納米等級的控制目前的難點在于驅動器，必須使用超高分辨率的驅動控制模塊來控制。
現在有一個樣品正在研究，品牌PI，可以去他們的官網看看，有余等級限制發不了鏈接，可以直接搜Physik Instrument. 有很多超精密控制的模組。

回復問題專業，描述清楚伸手黨/灌水/看不懂

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xfxywzy

17^#

樓主| 發表于 2023-3-9 10:36:45 | 只看該作者

發不了圖片，具體的結構初步來看是需要2-3級調節。
第一等級是X-Y的粗調節，精度在±2um之內就行，第二等級調節就是PZT壓電陶瓷調節，精度可以做到進給0.1nm,行程15um.

系統的空氣主軸的性能也需要密切關注，因為碟片測試不僅僅有精度跳動要求（跳動越小越好 50nm以內），對軸也有速度控制要求（0.005%）。目前合適的供應商也在尋找中。

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