有無可測兩平面平行度的儀器？

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小北方2010

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樓主| 發表于 2010-3-29 22:29:49 | 只看該作者

和大家分享一下激光干涉儀的工作原理：
以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
雙頻激光干涉儀原理

雙頻激光干涉儀是一種新型激光干涉儀,
基本原理與單頻激光干涉儀不同。如圖所示，它是利用光的干涉原理和多卜勒效應（此處指由于振源相對運動而發生的頻率變化的現象）產生頻差的原理來進行位移測量的。
激光器放在軸向磁場內，發出的激光為方向相反的右旋圓偏振光和左旋圓偏振光，其振幅相同，但頻率不同，分別表示為f1和f2。經偏振分光鏡，一部分反射光經檢偏器射入光電元件D1作為基準頻率f基 (f基＝f1－f2)。頻率為f２的光束完全反射，經濾光器變為線偏振光f２，投射到固定棱鏡并反射到偏振分光鏡處。頻率為f1的光束折射經濾光器變為線偏振光f1，投射到移動棱鏡后也反射到偏振分光鏡處，兩者產生相干光束。若移動棱鏡移動，則反射光的頻率由于多卜勒效應而發生變化，其頻差為多卜勒頻差Δf。
頻率為f1±Δf的反射光與頻率為f２的反射光在b處匯合后，經檢偏器射入光電元件D２，得到頻率為測量頻率f測＝f２－(f1±Δf)的光電流，這路光電流與經光電元件D１后得到頻率為f基的光電流同時經放大器進入計算機，經減法器和計數器，即可算出差值±Δf，并按公式計算出移動棱鏡的移動速度v和移動距離l。