' o6 y, D4 U6 K9 n
微光電子機械系統(MOEMS)是一種新興技術,日前已成為全球最熱門的技術之一。MOEMS是利用光子系統的微電子機械系統(MEMS),內含微機械光調制器、微機械光學開關、IC及其他構件,并利用了MEMS技術的小型化...更多>> 微光電子機械系統(MOEMS)是一種新興技術,日前已成為全球最熱門的技術之一。MOEMS是利用光子系統的微電子機械系統(MEMS),內含微機械光調制器、微機械光學開關、IC及其他構件,并利用了MEMS技術的小型化、多重性、微電子性,實現了光器件與電器件的無縫集成