電容微位移傳感器是通過什么來實現測量的，有什么方法？

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電容微位移傳感器是通過什么來實現測量的，有什么方法？

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baikenor

電阻應變形式的傳感器一般是組成電橋，靠直流電壓激勵，當收到壓力等信號時，電阻發生變化，兩端輸出壓差信號

電容由于直流無法通過，采用交流激勵，電容在交流下有阻抗，這樣就和直流激勵電阻一樣了，一樣分析，當電容變化（介質變化，基板距離，大小變化）的時候，  兩端也會有電壓輸出

電感性的傳感器也是交流激勵，當電感的鐵芯，或者線圈變化時，也會有電壓輸出


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