呵呵~還是揚天師兄思路嚴謹。
+ G2 Z1 N. S& s2 @7 c- J: h" l我說的0.004μm的重復精度是指我做實驗的那次的經(jīng)驗值。被測的是同一個環(huán)規(guī)的同一個位置。假如換個時間去測,也許會有所偏差,但是一個稍有耐心的技術(shù)人員20nm以內(nèi)是能夠保證的。
, y0 a& C! u) W這類超高精度的量儀對環(huán)境的要求都很高,被測工件的物理因素也必須考慮,調(diào)整適當?shù)臏y力以滿足不同要求。主要用來檢定環(huán)規(guī)塞規(guī)~~~
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' A$ I1 k3 i' w% ^4 b! G; m' y假如樓主的問題按精度(有效分辨率)劃分,可分為低(10~100μ)、中(1~10μ)、高(0.1~1μ)、超高精度(。。~0.1μ)。大致上:+ L/ m* S5 f5 s5 k, d: Z3 U6 f& \- S7 n+ r
尺類——低精度,其中千分尺等精度較高;
1 q/ u: Y3 o1 @$ o+ j/ L; |) p表類——中等精度,百分表精度較低;
7 W. u0 P: ?6 h: G: X1 i. V+ U氣動、電動等比較量儀類——高精度,也因廠家而異;
# P) H5 J4 t5 m) D' I3 }光學量儀——中~高精度;% c" X; J8 H, H. d
其他測長儀、高度儀、三坐標等不同產(chǎn)品精度跨度較大——中~超高。' u5 x) r: e5 d& M
5 C u& z0 z3 [. D+ k
個人意見,歡迎補充或拍磚~~:)* l) |+ I3 [. \, K4 F7 l5 ^4 `; J
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[ 本帖最后由 野獸飄飄 于 2007-12-13 17:27 編輯 ] |