菲科半導(dǎo)體(張家港)有限公司(PHT Robot Inc.):提供EFEM・Sorter等晶圓搬運設(shè)備。& D! }1 B* I7 Z
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北方華創(chuàng):作為國內(nèi)的龍頭設(shè)備廠之一,北方華創(chuàng)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域有廣泛的業(yè)務(wù)拓展。4 k' }$ w+ {. T
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中微公司:同樣是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊,中微公司在刻蝕設(shè)備和沉積設(shè)備方面有較強的實力。2 e8 P/ ?9 {' U% p* T
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盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司:以半導(dǎo)體清洗設(shè)備和先進封裝濕法設(shè)備為核心,近年開始進軍沉積設(shè)備領(lǐng)域。
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威孚(蘇州)技術(shù)有限公司:提供尋邊器(Aligner),適用于直徑最小2時至最大12吋的晶圓、玻璃等。8 Q( B: S6 o* t; ]) O5 T, Q
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北京納茲精密科技有限公司:提供氣浮轉(zhuǎn)臺等產(chǎn)品。- A6 W! s3 W6 G
1 R7 [5 B) R& S5 |/ A地心科技:提供氣浮系統(tǒng),包括氣浮轉(zhuǎn)臺,氣浮軸承直線臺,以及XY雙軸的平面氣浮產(chǎn)品等。
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上銀科技(中國)有限公司:提供晶圓裝卸機Load Port HLP系列,可共享8吋與12吋產(chǎn)品加載載出。$ ~* k! f D h, N
" j2 R' F$ U% q# B3 O1 g上海大族富創(chuàng)得科技股份有限公司:提供EFEM設(shè)備,包括圓裝載系統(tǒng)(Loadport)、晶圓運輸機器人(Robot)和晶圓對準器(Aligner)三大部件。
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7 R% q5 N+ F6 l; N蘇州矽格納科技有限公司:提供Wafer Aligner晶圓尋邊器、Wafer Transfer晶圓轉(zhuǎn)換器等產(chǎn)品。 |