菲科半導體（張家港）有限公司（PHT Robot Inc.）：提供EFEM・Sorter等晶圓搬運設備。
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- A/ `( N r- n1 f北方華創：作為國內的龍頭設備廠之一，北方華創在半導體設備領域有廣泛的業務拓展。& m, Y# d4 n; b/ e
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中微公司：同樣是國內半導體設備領域的領頭羊，中微公司在刻蝕設備和沉積設備方面有較強的實力。1 q$ b& J) L' V1 M1 s4 `" d
5 S' o+ R1 Q- W( [( e. @盛美半導體設備（上海）股份有限公司：以半導體清洗設備和先進封裝濕法設備為核心，近年開始進軍沉積設備領域。* E$ S7 w$ ~/ ]$ h5 n+ f
1 \7 Z8 }0 W9 \# T8 T) r威孚(蘇州)技術有限公司：提供尋邊器（Aligner），適用于直徑最小2時至最大12吋的晶圓、玻璃等。
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北京納茲精密科技有限公司：提供氣浮轉臺等產品。' @: @! \; e. g2 I9 ~/ F- m3 @
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地心科技：提供氣浮系統，包括氣浮轉臺，氣浮軸承直線臺，以及XY雙軸的平面氣浮產品等。. C# `: l- _2 p' G! w
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上銀科技（中國）有限公司：提供晶圓裝卸機Load Port HLP系列，可共享8吋與12吋產品加載載出。
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上海大族富創得科技股份有限公司：提供EFEM設備，包括圓裝載系統（Loadport）、晶圓運輸機器人（Robot）和晶圓對準器（Aligner）三大部件。
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蘇州矽格納科技有限公司：提供Wafer Aligner晶圓尋邊器、Wafer Transfer晶圓轉換器等產品。 |
發表于 2024-11-12 14:16:51
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