淺聊下激光干涉儀測(cè)量協(xié)作機(jī)器人DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)精度

中圖儀器1

標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)作機(jī)器人關(guān)節(jié)模組由角度編碼器、直驅(qū)電機(jī)(DD馬達(dá))、驅(qū)動(dòng)器、諧波減速機(jī)、剎車、扭矩傳感器等元器件組成，DD馬達(dá)摒棄了傳統(tǒng)減速機(jī)構(gòu)，將負(fù)載與電機(jī)轉(zhuǎn)子直接耦合，成就了協(xié)作機(jī)器人流暢的關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)。但這一革命性設(shè)計(jì)也帶來(lái)了嚴(yán)苛的精度挑戰(zhàn)：任何微小的角度偏差都被直接放大為末端執(zhí)行器的軌跡誤差！

當(dāng)協(xié)作機(jī)器人需要執(zhí)行微米級(jí)的精密任務(wù)時(shí)，如何確保其核心動(dòng)力單元DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)精度達(dá)到角秒級(jí)？答案藏在一束激光的干涉條紋之中。
解決方案：SJ6000激光干涉儀+角度反射鏡組+WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)，測(cè)量精度：±1″；分辨力：0.01″。

  f, {( q  W# T& r' ^$ G( ?- \5 @DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量示意圖
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+ }4 f! S( n* }* [: H測(cè)量流程：
將WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)固定在馬達(dá)軸心，其頂部反設(shè)鏡可相對(duì)基座反向旋轉(zhuǎn)，反射鏡始終與激光束角度鎖定在0.5度內(nèi)，轉(zhuǎn)臺(tái)每旋轉(zhuǎn)5°，反射鏡即反向旋轉(zhuǎn)5°，此時(shí)軟件將WR50的精密圓光柵角度值和SJ6000的角度值進(jìn)行合并計(jì)算，得出馬達(dá)實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的角度。
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激光干涉儀測(cè)量結(jié)束后自動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償，確保DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)精度符合要求。

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4 V, X4 \) M" o9 F3 _: L補(bǔ)償前數(shù)據(jù)
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補(bǔ)償后數(shù)據(jù)
6 |/ m! K' g1 M3 y% W從汽車工廠的裝配線到無(wú)塵室里的芯片制造，協(xié)作機(jī)器人正以人類般的靈巧重塑產(chǎn)業(yè)。而在這背后，是以激光干涉儀為代表的精密測(cè)量?jī)x器的默默守護(hù)，為協(xié)作機(jī)器人的安全高效精準(zhǔn)運(yùn)行保駕護(hù)航。
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走江湖

雷尼紹XR20

lanyuedao

看起來(lái)是用于每臺(tái)機(jī)器人最終標(biāo)定，確定補(bǔ)償值。
http://www.whclglass.com.cn/thread-453514-1-1.html
貼一篇舊貼。當(dāng)絕對(duì)精度不夠的時(shí)候，激光干涉儀能做什么事情？

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走江湖 發(fā)表于 2025-6-12 09:50
雷尼紹XR20

. X2 l4 U, H3 ?雷尼紹不是這樣的
, H, W8 v3 a$ o/ _* _# j( c7 ^

2469868352

WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),脫離激光干涉儀,獨(dú)立旋轉(zhuǎn),絕對(duì)定位精度和重復(fù)性可以達(dá)到多少