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淺聊下激光干涉儀測(cè)量協(xié)作機(jī)器人DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)精度

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1#
發(fā)表于 2025-6-11 16:19:34 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)作機(jī)器人關(guān)節(jié)模組由角度編碼器、直驅(qū)電機(jī)(DD馬達(dá))、驅(qū)動(dòng)器、諧波減速機(jī)、剎車、扭矩傳感器等元器件組成,DD馬達(dá)摒棄了傳統(tǒng)減速機(jī)構(gòu),將負(fù)載與電機(jī)轉(zhuǎn)子直接耦合,成就了協(xié)作機(jī)器人流暢的關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)。但這一革命性設(shè)計(jì)也帶來(lái)了嚴(yán)苛的精度挑戰(zhàn):任何微小的角度偏差都被直接放大為末端執(zhí)行器的軌跡誤差!. \/ ]. _8 [3 z
3 r5 f# v: ^5 j  I9 {
當(dāng)協(xié)作機(jī)器人需要執(zhí)行微米級(jí)的精密任務(wù)時(shí),如何確保其核心動(dòng)力單元DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)精度達(dá)到角秒級(jí)?答案藏在一束激光的干涉條紋之中。: H7 R* s- x, h6 k. H& F
解決方案:SJ6000激光干涉儀+角度反射鏡組+WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),測(cè)量精度:±1″;分辨力:0.01″。% H4 \" T2 I0 {3 V0 E

  f, {( q  W# T& r' ^$ G( ?- \5 @DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量示意圖
$ P: d6 P2 |8 N
+ }4 f! S( n* }* [: H測(cè)量流程:8 P( X; ^& k4 x: {% B" W& h1 m
將WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)固定在馬達(dá)軸心,其頂部反設(shè)鏡可相對(duì)基座反向旋轉(zhuǎn),反射鏡始終與激光束角度鎖定在0.5度內(nèi),轉(zhuǎn)臺(tái)每旋轉(zhuǎn)5°,反射鏡即反向旋轉(zhuǎn)5°,此時(shí)軟件將WR50的精密圓光柵角度值和SJ6000的角度值進(jìn)行合并計(jì)算,得出馬達(dá)實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的角度。
) X; s8 @. E, l& l" `, `+ ~! _
7 a3 }7 _, p+ Q9 Z1 q, ?
- q, }4 p! D, e4 H; J  a9 Y8 z5 |% r$ f8 g
激光干涉儀測(cè)量結(jié)束后自動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償,確保DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)精度符合要求。! w% I/ X  ?9 f6 v, y  ?9 C

: k0 d7 C* }3 q8 Y) ?
4 V, X4 \) M" o9 F3 _: L補(bǔ)償前數(shù)據(jù)
. [% d" Q; |. S' U9 e, M9 h( J# C/ ~: Q# {/ W& K
( T# W  B2 ]$ h" R' z0 a9 o: U
補(bǔ)償后數(shù)據(jù)
6 |/ m! K' g1 M3 y% W從汽車工廠的裝配線到無(wú)塵室里的芯片制造,協(xié)作機(jī)器人正以人類般的靈巧重塑產(chǎn)業(yè)。而在這背后,是以激光干涉儀為代表的精密測(cè)量?jī)x器的默默守護(hù),為協(xié)作機(jī)器人的安全高效精準(zhǔn)運(yùn)行保駕護(hù)航。
7 X% m. e$ _- \( y! x% R- n% u* R$ G. X6 l) O8 _$ N# l  A  o

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2#
發(fā)表于 2025-6-12 09:50:12 | 只看該作者
雷尼紹XR20
3#
發(fā)表于 2025-6-12 10:12:56 | 只看該作者
看起來(lái)是用于每臺(tái)機(jī)器人最終標(biāo)定,確定補(bǔ)償值。, J0 ~% A9 g( a0 M1 z# C# f
http://www.whclglass.com.cn/thread-453514-1-1.html+ e0 P- D2 l! }6 Y, K
貼一篇舊貼。當(dāng)絕對(duì)精度不夠的時(shí)候,激光干涉儀能做什么事情?
4#
發(fā)表于 2025-6-14 10:59:13 | 只看該作者
走江湖 發(fā)表于 2025-6-12 09:50/ ~% f8 ~0 u/ H
雷尼紹XR20

. X2 l4 U, H3 ?雷尼紹不是這樣的
, H, W8 v3 a$ o/ _* _# j( c7 ^
5#
發(fā)表于 2025-6-14 11:11:56 | 只看該作者
WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),脫離激光干涉儀,獨(dú)立旋轉(zhuǎn),絕對(duì)定位精度和重復(fù)性可以達(dá)到多少

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