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Mahr和Zygo表面粗糙度,探索結果相差巨大!

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1#
發表于 2010-12-4 02:39:29 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
我用便攜式Mahr輪廓儀測得的表面粗糙度和用Zygo 7100 Series 測得的表面粗粗度差的非常多(用的Ra-附件里打錯了)。 初步分析了一下Zygo實測的一指定面積上的粗糙度,Mahr是測的一條直線上的粗糙度。不過有細微差別是可以接受的,現在差的非常大(附件)~- k) ^8 d9 E( O, b6 y
會不會是因為Mahr輪廓儀的截至長度的影響?
7 U  ]% s8 S9 g4 i# T4 o- JPS Mahr剛剛矯正過,沒問題~% i- a4 N# A$ a

+ @7 X  q- s1 i3 \8 L9 t, A請教高手原因~/ q. D* v( N. U

# B9 t, [* S- F* \/ O
: b" N; A9 j2 g# s" Y7 B: h1 j. @

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2#
發表于 2018-8-11 17:32:59 | 只看該作者
頂起來,樓主明白了嗎
3#
發表于 2018-8-13 11:10:24 | 只看該作者
我又來賺威望啦!!
4#
發表于 2018-9-17 23:08:52 | 只看該作者

0 ?+ F/ B' a4 e: Z我又來賺威望啦!!
5#
發表于 2020-3-6 13:39:08 | 只看該作者
儀器不準吧
6#
發表于 2020-5-19 13:17:23 | 只看該作者
ZYGO也可以拉取線上的粗糙度的吧
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