光伏電池硅片的生產過程主要如下:
# X" r1 v8 p) N+ B' A# U一次清洗,即擴散前清洗。主要通過NaOH.HF,HCL等對硅片進行腐蝕處理,完成去損傷層、制絨,去硅酸鈉,去金屬離子等工藝。
& o% `- j2 R$ d. ~2 l9 E! j擴散。在高溫石英爐管內對硅片進行二次清洗前處理。
9 j" B* E0 ^2 l( d5 a周邊刻蝕。在工藝室內的一定條件下是硅片的電壓達到允許值。
2 Z$ A) i3 c9 C3 x: l二次清洗,即擴散后清洗。主要完成去磷硅玻璃、漂洗、噴淋、慢拉、烘干等工藝要求。
: v- u' Z# [9 [! pPECVD。在真空和高溫條件下,對硅片去除水分和空氣后鍍膜。 ( s. B( A: G5 i9 k7 t% A
絲網印刷。對背電極進行印刷、烘干。
, K8 p$ w! G+ v燒結或固化。 9 }! `4 }+ w1 E1 Y* L
測試。 . u* g3 w" \( d) t
以上工序基本完成了電池硅片的處理過程,再經過焊接接線,組合裝配等配套過程后,電池就可應用。 ) I$ t( _$ R1 ]3 R2 \
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