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因使用MEMS技術的三維LIDAR而為人所知的日本信號公司開始涉足力覺傳感器領域，發布了基于MEMS技術的“超小型6軸力覺傳感器”，其中運用了該公司研發的電磁驅動式MEMS光掃描儀“ECO SCAN”的技術經驗，主要用于機器人和計測儀器領域。
2 e/ L9 ]" |. B: K/ a 因使用MEMS技術的三維LIDAR而為人所知的日本信號公司開始涉足力覺傳感器領域，發布了基于MEMS技術的“超小型6軸力覺傳感器”，其中運用了該公司研發的電磁驅動式MEMS光掃描儀“ECO SCAN”的技術經驗，主要用于機器人和計測儀器領域。
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# X" I# q+ g4 ^5 Y4 S超小型6軸力覺傳感器利用半導體的壓電電阻效應來檢測應力。該傳感器的外形尺寸為直徑10.6mm、厚14.5mm，直徑只有1日元硬幣的一半。額定負荷方面，沿X、Y、Z三個軸方向各為±30N，沿各軸旋轉方向為±30Ncm。反復精度在3％以下。檢測靈敏度方面，軸方向為0.1～0.2mV/N，X、Y軸旋轉方向為0.2～0.6mV/Ncm，Z軸旋轉方向為0.2～0.3mV/Ncm。
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) Y9 l4 P! z1 [. M" Z( v% s/ P7 ^另外，日本信號還將廣泛探索該傳感器在機器人及計測儀器以外領域的用途，例如，利用該傳感器實現醫生觸診的自動化。- w/ D, N( Y; |4 R9 v; Z
! w' v; e/ ^+ I2 ^# G該公司不久之后將開始提供該超小型6軸力覺傳感器的樣品，還將在12月2日于東京有明國際會展中心開幕的“2015國際機器人展”上展出。* X7 _$ {/ S+ F1 D
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發表于 2015-11-27 18:49:20
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