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因使用MEMS技術(shù)的三維LIDAR而為人所知的日本信號(hào)公司開(kāi)始涉足力覺(jué)傳感器領(lǐng)域,發(fā)布了基于MEMS技術(shù)的“超小型6軸力覺(jué)傳感器”,其中運(yùn)用了該公司研發(fā)的電磁驅(qū)動(dòng)式MEMS光掃描儀“ECO SCAN”的技術(shù)經(jīng)驗(yàn),主要用于機(jī)器人和計(jì)測(cè)儀器領(lǐng)域。5 y6 s" N' ~) K+ b0 h! q
因使用MEMS技術(shù)的三維LIDAR而為人所知的日本信號(hào)公司開(kāi)始涉足力覺(jué)傳感器領(lǐng)域,發(fā)布了基于MEMS技術(shù)的“超小型6軸力覺(jué)傳感器”,其中運(yùn)用了該公司研發(fā)的電磁驅(qū)動(dòng)式MEMS光掃描儀“ECO SCAN”的技術(shù)經(jīng)驗(yàn),主要用于機(jī)器人和計(jì)測(cè)儀器領(lǐng)域。
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超小型6軸力覺(jué)傳感器利用半導(dǎo)體的壓電電阻效應(yīng)來(lái)檢測(cè)應(yīng)力。該傳感器的外形尺寸為直徑10.6mm、厚14.5mm,直徑只有1日元硬幣的一半。額定負(fù)荷方面,沿X、Y、Z三個(gè)軸方向各為±30N,沿各軸旋轉(zhuǎn)方向?yàn)椤?0Ncm。反復(fù)精度在3%以下。檢測(cè)靈敏度方面,軸方向?yàn)?.1~0.2mV/N,X、Y軸旋轉(zhuǎn)方向?yàn)?.2~0.6mV/Ncm,Z軸旋轉(zhuǎn)方向?yàn)?.2~0.3mV/Ncm。
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' k( u# C) B) T. w! r( K8 O9 [另外,日本信號(hào)還將廣泛探索該傳感器在機(jī)器人及計(jì)測(cè)儀器以外領(lǐng)域的用途,例如,利用該傳感器實(shí)現(xiàn)醫(yī)生觸診的自動(dòng)化。& J9 C! I0 B8 m% V3 r: H) { E4 k
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該公司不久之后將開(kāi)始提供該超小型6軸力覺(jué)傳感器的樣品,還將在12月2日于東京有明國(guó)際會(huì)展中心開(kāi)幕的“2015國(guó)際機(jī)器人展”上展出。
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